Gordon Research Conference on Hybrid Electronic and Photonic Materials and Phenomena

2014 Collaborative Conference on Materials Research (CCMR)

The 11th Asia-Pacific Conference on Materials Processing

The 8th International Conference on Advanced Materials Processing (ICAMP-8)

The 2014 International conference on materials science and mechanical automation engineering (MSMAE 2014)

2014 5th International Conference on Nanotechnology: Fundamentals and Applications (ICNFA)

第二十七屆電腦視覺、圖學暨影像處理研討會暨國科會智慧計算學門成發表會及新進人員研習會(CVGIP 2014)

The 15th International Union of Materials Research Societies, International Conference in Asia (IUMRS-ICA)

2014 International conference on Advances in Materials Research (ACAM14)

2014國際再生醫學材料應用研討會International Symposium of Materials on Regenerative Medicine (ISOMRM)

第11屆國際電致色變會議The 11th International Meeting on Electrochromism (IME-11)

The 2014 International Conference on Machining, Materials and Mechanical Technologies (IC3MT)

2014年輸送現象及其應用專題研討會 暨第3屆輸送現象教育研討會

The 6th PCGMR/NCKU Symposium on Nano-Technology/Material for Future Devices

International Symposium on Materials for Enabling Nanodevices (ISMEN)

International Conference on Diamond and Carbon Materials 2014

103年度-半導體光電製程設備零組件與系統設計專題競賽

第一屆國際磨潤研討會 International Conference on Engineering Tribology Technology

2014石墨烯材料國際研討會 Recent Progress in Graphene Research (RPGR 2014)

2014 Materials Science and Engineering (MSE)

第9屆全國氫能與燃料電池學術研討會(平行會議:1. 2014台灣能源學會綠能電動車workshop、2. 2014全國大專盃燃料電池節能車競賽、3. 2014全國大專生能源論文競賽)

International Forum on Systems and Mechatronics

2014 International Conference on Innovation, Communication and Engineering

2014年海峽兩岸破壞科學與材料試驗學術會議 暨 第十二屆破壞科學研討會

2014 國際光資訊儲存研討會2014 International Symposium on Optical Memory(ISOM’14)

The 2nd International Union of Materials Research Societies - International Conference of Young Researchers on Advanced Materials (IUMRS-ICYRAM2014)

2014第9屆國際構裝研討會暨第16屆國際電子材料封裝研討會(IMPACT-EMAP)

第十屆海峽兩岸薄膜科學與技術研討會

2014 International Conference on Advanced Material Science and Engineering (ICAMSE)

第七屆世界預防醫學及再生醫學世界大會(7th WCPRM)

第九屆海峽兩岸工程材料研討會

2014世界精密鑄造研討會 暨 103年度台灣鑄造學會年會論文發表會

The 7th Asia Workshop on Micro/Nano Forming Technology (AWMFT 2014)

2014年第一屆國際磨潤研討會 (ICETT 2014)

中國機械工程學會第31屆全國學術研討會暨103年度年會與科技部機械固力、熱流及能源學門聯合成果發表會

Pacific Rim Symposium on Surfaces, Coatings and Interfaces (PacSurf 2014)

The 8th International Workshop on Crystalline Silicon Solar Cells (CSSC-8)

明志科技大學薄膜科技與應用中心

設立沿革及宗旨

明志科技大學薄膜科技與應用中心由本校環資學院謝章興院長率領專業團隊向劉祖華校長提出申請,並經董事長楊定一博士大力支持,於2010年12月23日開幕正式運作。本中心設立之宗旨為推動薄膜科技之開發與應用,促進產官學研交流合作。其任務涵蓋學術研究、技術服務、專利開發、技術轉移及教育訓練。

本中心由謝章興院長及李志偉主任率領專業團隊,致力研究於ICP-CVD、PE-CVD、濺鍍、蒸鍍、液態電漿、大氣電漿、電漿聚合等領域的專業技術,並結合日本大阪大學鍍膜技術,推動國內薄膜與電漿科技開發與應用,主要的設備有連續式及批次式三維濺鍍系統、低電感高密度電漿與電漿輔助化學氣相沉積系統、液態電漿、電漿聚合系統、高功率脈衝鍍膜系統、離子輔助蒸鍍系統、微弧氧化系統等製程設備,與各式先進檢測設備,目前已成功開發包括異質接面HIT薄膜太陽能電池、鋁/鈦/鋯合金微弧氧化MAO表面改質技術、鉻/鋯基氮化物微端銑刀鍍膜、抗塑膠射出膜具沾粘薄膜、抗菌薄膜、金屬玻璃薄膜、生物相容性薄膜、抗電磁波薄膜、複合Hybrid抗反射薄膜等製程及產品。

本中心成立至今平均每年接獲10件產學合作案約3,500,000元、13件國科研究案約13,600,000元及各類相關合作案,並接獲科技部計畫成立「保護性鍍膜製程技術開發與功能檢測小聯盟」,進行技術諮詢、薄膜材料功能檢測服務、薄膜材料製程開發等服務。未來將持續透過產學(建教)合作、測試分析、顧問諮詢等方式,協助業界解決薄膜技術相關問題,以期讓國內產業在國際上具有更大的競爭力。





實驗室與設備

本中心佔地320坪,共設立十間實驗室(先進物理鍍膜實驗室(Ⅰ、Ⅱ)、先進化學鍍膜實驗室、薄膜與機械性質實驗室、先進電漿實驗室、光電檢測實驗室、應用生醫薄膜實驗室、液態電漿實驗室、產學製程及產學檢測實驗室) ,另有一間辦公室及一間大型會議室。





(一)先進化學鍍膜實驗室(Advanced Chemical Vapor Deposition Lab.)
1.高密度電漿輔助化學氣相沉積系統(Inductively Coupled Plasma-ChemicalVapor Deposition, ICP-CVD) 2.電漿輔助化學氣相沉積系統(Plasma Enhanced -Chemical Vapor Deposition, PE-CVD)
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(二)先進物理鍍膜實驗室(Advanced Physical Vapor Deposition Lab.Ⅰ)
1.連續式-物理氣相沉積系統(In- Line Physical Vapor Deposition) 2.批次-物理氣相沉積系統(Batch Type Physical Vapor Deposition)-為多方位三維沈積系統
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(三)先進物理鍍膜實驗室(Advanced Physical Vapor Deposition Lab.Ⅱ)
1.高功率脈衝磁控濺鍍系統(High Power Impulse Magnetron Sputtering)
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(四)薄膜與機械性質實驗室(Thin Films & Mechanical Properties Testing Lab.)
1.薄膜刮痕儀(Scratch Tester) 2.磨耗試驗機(Tribometer)
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3.薄膜衝擊試驗機(Thin Film Impact Tester)
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(五)先進電漿實驗室(Advanced Plasma Lab.)
1.大氣電漿處理系統(Atmospheric Plasma Treatment System) 2.電漿聚合系統(Plasma Polymerization System)
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(六)光電檢測實驗室(Optoeletronic Measurement Lab.)
1.光電化學量測儀(Photoelectrochemical MeasuringSystem) 2.紫外光/可見光分光光譜儀(UV-Visible Spectrophotometer)
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(七)產學製程實驗室(Industry-Process Equipment Lab.)
1.離子輔助蒸鍍機(Ion-Beam Assisted Deposition,IBAD) 2.反應式離子蝕刻機(Reactive Ion Etcher, RIE)
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3.熱蒸鍍系統(Thermal Evaporation System)
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(八)液態電漿實驗室(Solution Plasma Lab.)
1.液態電漿系統(Solution Plasma System)
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