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功能介紹
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化學分析電子能譜儀，又名X光光電子能譜儀(X-ray Photoelectron Spectroscope, XPS)，是設計來進行物質表面定性與定量的化學分析。ESCA的基本功能為全能譜分析(survey
analysis)、元素線掃描(line scan)、化學成像(chemical imaging)與成分縱深分佈(depth profiling)。成分縱深分佈包括離子濺擊縱深分佈與適用於超薄薄膜之角度解析(angle-resolved)縱深分佈兩種。
本設備的特殊功能包括：
(1) 利用在陽極掃描之聚焦電子束產生掃描式微米尺寸X射線。
(2) 產生掃描式X射線激發二次電子影像(scanning X-ray induced (SXI) secondary electron imaging)。
(3) 電中和系統採用冷陰極電子與低能量離子雙槍模組。
(4) 配備C60離子槍。
這些特點使本設備能夠進行
(1) 微區定位與分析。
(2) 高效率自動化電中和作用。
(3) 低損害之濺擊，消除濺擊造成之化學位移(chemical shift)。
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