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論文標題
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設計具不同特性氧化鋅量子點的磁控濺鍍技術
Designing various self-assembled ZnOx quantum dots/Islands on silicon with distinctive
characteristics by magnetron sputter
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內容摘要
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我們成功設計三種不同形貌自我組裝氧化鋅量子點，這些量子點是利用簡單的磁控濺鍍法製作於矽基板上。如下圖(a)，在負偏壓及使用氫及氬氣當作濺鍍氣體下，表面先產生規則形狀孔洞，隨後填洞長出自我排列之角錐形ZnOx量子點，其成份x可隨基板偏壓線性改變，此不同成份可控制缺陷形態及種類而有相關應用。有趣地，相似的條件下，若無基板偏壓之施加，氧化鋅量子點將朝能量最穩定之六角錐金字塔成長，如圖(c)，呈現與矽基板磊晶成長的結果，晶體結構與方向性也呈現完美對稱性。當氧氣被添加於濺鍍氣體時，符合化學劑量比之氧化鋅圓形量子點被成功長出，如圖(b)， 因為擴散距離變短，量子點只有4-6
nm 。圖(d)為室溫之光激發光光譜，三種量子點均呈現藍移，只有最後一種是因為大小量子侷限效應，其藍移超過100 meV，其他兩種均與應力或是形貌有關。這研究提供一個快速且與工業生產相容性高，製作可控制與高品質之氧化鋅量子點。
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期刊名稱
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Crystal Growth & Design, 9, 2021-2025 (2009). 1/25(CRYSTALLOGRAPHY)
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主要作者
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Yu-Han Liang, Jun-Han Huang, Neng-Chieh Chang, and Chuan-Pu Liu*
Department of Materials Science and Engineering, National Cheng Kung University,
Taiwan
E-mail:cpliu@mail.ncku.edu.tw
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全文連結
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http://pubs.acs.org/doi/pdfplus/10.1021/cg8014018
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