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儀器名稱
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臺灣科技大學材料系場發射雙束型聚焦離子束顯微鏡(Dual Beam FIB)
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功能介紹
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規格
- 場發射式電子束使用Schottky emitter，加速電壓為0.2~30KV，可分別於高真空、低真空與環境式真空下操作。高真空模式之解析度可達1.2nm at 30 kV。
- 聚焦離子束使用Ga液體金屬離子源，加速電壓為2~30KV，離子束電流2pA~65nA，解析可達5nm。
- GIS系統，目前提供Pt沉積。
服務項目
- 各式樣品之定點縱剖面切割與微結構觀察。
- TEM樣品製作。[但需至台大貴儀完成Pick-Up擷取系統]
- 光罩與元件之線路修補。
- 特殊圖案、陣列之製作。
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廠商資訊
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FEI
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收費標準
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- 校內單位3,000元/小時，校外學校單位5,000元/小時，校外非營利事業單位7,000元/小時，校外營利事業單位8,000元/小時。
- 預繳委託操作費用10小時，可優惠使用11小時。
- 白金電極費用另計(每5分鐘收費200元，不足5分鐘，仍以5分鐘計價)。
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學校連絡人資料
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臺灣科技大學材料系
儀器管理教授：材料系朱瑾教授 (02)2370-3292
儀器管理技士：材料中心廖勝權 (02)2737-6435
分機：6435
E-mail:sclaiw@mail.ntust.edu.tw
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資訊連結
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http://tx2.ntust.edu.tw/front/bin/ptlist,249.phtml
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儀器相片
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